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介質(zhì)求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體
介質(zhì)種類(lèi) 內(nèi)置了98種氣體,請(qǐng)參考背面
一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體,用戶(hù)可現(xiàn)場(chǎng)選擇
量 程 從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
測(cè)量范圍 0.01~100
*大顯示流量 128*滿(mǎn)量程
顯 示 屏 帶按鍵背光開(kāi)關(guān),標(biāo)準(zhǔn)為L(zhǎng)CD顯示屏,可選TFT彩色顯示屏
顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
精 度 ± (0.8*讀數(shù) + 0.2*滿(mǎn)量程)見(jiàn)上段精度升級(jí)部分
± (0.4*讀數(shù) + 0.2*滿(mǎn)量程)(可選)
累計(jì)流量精度 流量精度之外增加±0.5*額外誤差
重 復(fù) 性 ±(0.2*讀數(shù)+0.02*滿(mǎn)量程)
質(zhì)量流量溫度漂移 0.03*滿(mǎn)量程當(dāng)溫度從25℃起每變化1℃
質(zhì)量流量壓力漂移 ±(0.08 *讀數(shù) + 0.02 *滿(mǎn)量程)當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起,每變化1bar
響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于10 ms
預(yù)熱時(shí)間 < 1 s
標(biāo)定工況 25 ℃&1 Atm(可現(xiàn)場(chǎng)在測(cè)量范圍內(nèi)隨意更改)
工作溫度 -10 ~ 60 ℃(可選高溫/低溫選項(xiàng))
溫度精度 ± 0.75 ℃
工作濕度 0 ~ 95 *,無(wú)冷凝
*大工作壓力 0.3 MPa表壓,進(jìn)出口*大允許瞬時(shí)壓差70 Kpa
*低操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定,建議在絕壓80 KPaA以上使用;其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定
壓力精度 ±0.5*讀數(shù)(讀數(shù)>1 Atm),或±0.1PSIA(<1Atm)
滿(mǎn)量程壓損 參考詳細(xì)壓損表
數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào)40 Hz@ 19200波特率;
模擬信號(hào):1000 Hz
屏幕刷新頻率 10 Hz
數(shù)字輸入/輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus RTU(RS232/RS485)、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模擬輸入/輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA
可選*二路模擬輸出 質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度
模擬信號(hào)精度 在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 *滿(mǎn)量程誤差
供電電壓 7 - 30 VDC(如選4 - 20 mA輸出,須為15 - 30 VDC)
供電電流 40 mA,80 mA(4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC)
電氣接口 DB9,可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN
泄漏率(外漏) 選擇HLC選項(xiàng),泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強(qiáng)尼龍、鋁