艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、**地確定穩(wěn)定的流量。
與任何其它產(chǎn)品相比，我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達其設(shè)定值，使其能夠抑制管線壓力波動，因而不會影響您的過程下游。
定制化閥門選配項和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。
基于壓力的質(zhì)量流量儀表的高性能：
在大多數(shù)流量儀表上0.6*的讀數(shù)精度
4 ms響應(yīng)時間 無需預(yù)熱
四個過程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補償
溫度補償
寬動態(tài)流量范圍
MC系列Alicat氣體質(zhì)量流量控制器是我們的標準質(zhì)量流量控制器，其型號眾多，可測量高達5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。 若管線壓力較高（145-305 psig），請選擇MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器。
MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器適用于低壓損應(yīng)用環(huán)境、泄漏測試，也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動響應(yīng)時間。
若您需要現(xiàn)有熱式質(zhì)量流量控制器的簡易替換件，MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器將閥門置于內(nèi)部，使其工藝連接件與SEMI標準長度相符。
對于真用應(yīng)用，MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是在MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一氣動截止閥。
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列，專門設(shè)計用于OEM應(yīng)用和大量訂單環(huán)境。
為滿足生物反應(yīng)器市場的需求，Alicat發(fā)布了**上**專門用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質(zhì)量流量控制器。